山东省陶瓷协会
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山东领瓷展览有限公司

常压烧结是氧化铝最成熟的工业化路线。采用纯度≥99.5%、粒度0.5–2 μm的粉体,在1550–1750°C的空气中直接烧结,添加200–500 ppm的MgO、CaO或TiO₂作为助烧剂,用以抑制晶粒异常长大。该工艺成本最低、产量最大,是电子基板、结构件和耐磨件的主流制法。
热压烧结则面向更高密度需求。使用≥99.9%纯度、0.3–1 μm的细粉,在1400–1600°C的真空或惰性气氛中施加单向压力,以MgO为助烧剂。制品密度显著提升,但存在光学、力学各向异性,多用于装甲背板或透明氧化铝的坯体预致密化。
热等静压(HIP)将致密度推向极限。粉体纯度需≥99.99%,粒度控制在0.2–0.5 μm的亚微米级,在1500–1650°C、100–200 MPa的氩气等静压中处理,MgO助烧。该工艺实现各向同性致密化,能有效消除闭气孔,适用于精密轴承、高端结构件等对可靠性要求极高的场景。
放电等离子烧结(SPS)是实验室前沿研究路线。采用≥99.9%纯度、<0.5 μm的纳米级粉体,在1200–1400°C的真空中实现分钟级快速致密化,助烧剂用量极少。其优势在于超快速升温可保留纳米晶结构,目前主要用于实验研究和前沿材料开发。
氢气气氛烧结是透明氧化铝最经典的工业化工艺。采用≥99.99%(4N级)纯度、0.2–0.5 μm的亚微米粉,在1700–1850°C的高纯氢气(露点<-40°C)中烧结,助烧剂仅为精确控制的200–500 ppm MgO。H₂还原气氛能有效促进氧空位扩散,加速气孔迁移和排除,1 mm厚样品在可见光区的透光率可达80–90%,是高压钠灯电弧管的标准制法。
真空烧结面向高纯光学应用。使用4N级亚微米粉(0.2–0.5 μm),在1700–1850°C、真空度<10⁻³ Pa的极端洁净环境中烧结,MgO助烧。避免气氛污染后,透光率可达85%以上,用于高纯光学窗口、激光腔体和半导体设备视窗。
热等静压作为后处理手段消除残余缺陷。粉体纯度≥99.99%、粒度0.2–0.5 μm,先在1750°C预烧至95%密度,再在1600–1700°C、100–200 MPa氩气中HIP处理,MgO助烧。该工艺专门消除热压或气氛烧结后残留的闭气孔,透光率可提升至90%以上,用于高端光学窗口和红外整流罩。
两步烧结是细晶透明化的无压路线。采用≥99.99%纯度、0.1–0.3 μm的超细粉,先在1300–1350°C空气中快速致密化,再迅速降至1150–1250°C长时间保温。该工艺在不依赖外部压力的条件下抑制晶粒长大,可获得晶粒<5 μm的细晶透明件,但工艺窗口较窄,控制难度大。
常压烧结是氧化锆最主流的工业制法。采用≥99.5%纯度、0.2–0.5 μm的亚微米粉,在1350–1550°C的空气中烧结,以3–8 mol% Y₂O₃为主稳定剂,可搭配CeO₂、MgO或CaO。该工艺是Y-TZP/3Y-TZP的标准生产路线,制品兼具高强度和高韧性,广泛应用于牙科修复体、切削刀具、氧传感器和精密轴承球。
热压烧结适用于异形件的高密度成型。粉体纯度≥99.9%、粒度0.2–0.5 μm,在1300–1450°C的真空或惰性气氛下单向加压,Y₂O₃助烧。制品致密度高,适合拉丝模、精密轴承球等对形状和密度均有要求的部件。
热等静压面向极端可靠性场景。使用≥99.9%纯度的亚微米粉,在1350–1500°C、100–200 MPa氩气中处理,Y₂O₃稳定。该工艺可实现完全致密化和零气孔,用于高端全瓷冠、航空级轴承等关键部件。
两步烧结(TSS)是细晶强化的技术路线。采用≥99.5%纯度、<0.3 μm的超细粉,在1300–1450°C的空气中进行。工艺上先以较高温度快速完成致密化,再迅速降至较低温度(通常1150–1250°C)长时间保温,从而在不依赖外部压力的条件下抑制晶粒长大,获得细晶高强度的结构件。
SPS则利用极速烧结保留亚稳相。采用≥99.9%纯度、<0.2 μm的纳米粉,在1100–1300°C的真空中分钟级快速烧结,Y₂O₃助烧。该路线能保留常规烧结难以获得的亚稳相结构,适用于功能陶瓷和前沿研究。
反应烧结(RBSiC/SSiC)是碳化硅成本最低的工业化路线。使用纯度≥98%的硅粉(粒度1–10 μm)和≥99%的碳粉(粒度<1 μm),在1400–1600°C的真空或惰性气氛中通过硅熔渗反应实现致密化。该工艺无需传统助烧剂,但制品会残留10–15%的游离硅,尺寸精度高、成本低,广泛用于密封环、喷砂喷嘴和化工泵部件。
无压烧结(SSiC)是高性能碳化硅的"金标准"。采用≥99%纯度、0.5–1 μm的粉体,在1950–2100°C的真空或惰性气氛中高温烧结,添加B+C(0.5–1 wt%)或Al₂O₃+Y₂O₃作为助烧剂。前者通过固相扩散促进致密化,后者则形成液相辅助烧结。制品高纯致密、无游离硅,综合性能最优,用于机械密封、轴承和高端化工泵。
热压烧结面向简单形状的高密度需求。使用≥99%纯度、1–3 μm的粉体,在1800–2000°C下单向加压,助烧剂包括B₄C、Al或Al₂O₃+Y₂O₃。该路线致密化效率高,但受模具限制只适合板状或简单形状,典型应用为装甲板和空间反射镜。
热等静压将可靠性推向航空航天级。粉体纯度≥99.5%、粒度0.5–1 μm,在1850–2000°C、150–200 MPa氩气中处理,B+C助烧。该工艺能消除全部内部缺陷,用于航空航天关键承力部件。
重结晶烧结是一条特殊的无添加剂路线。采用≥99%纯度、10–50 μm的较粗粉体,在2200–2400°C的惰性气氛中直接烧结,不添加任何助烧剂。制品呈多孔结构但超耐高温,用于窑具、热电偶保护管和高温燃烧器。
SPS为纳米碳化硅提供快速制备路径。使用≥99.9%纯度、<0.5 μm的纳米粉,在1700–1900°C的真空中快速致密化。超快速升温有效抑制晶粒长大,用于纳米SiC制备和实验研究。
反应烧结(RBSN)是氮化硅的低成本预成型路线。使用≥98%纯度、1–10 μm的硅粉,在1300–1450°C的常压氮气气氛中通过氮化反应直接成型。该工艺不添加助烧剂,制品呈多孔状态但尺寸稳定性极佳,成本低,适合预成型件、多孔过滤件和高温炉具。
无压烧结(PLS)是氮化硅最主流的致密化工艺。采用≥99%纯度、0.5–1 μm的粉体,在1750–1850°C的常压氮气中烧结,添加5–10 wt%的MgO、Y₂O₃或Al₂O₃作为助烧剂。助烧剂与表面SiO₂反应形成Si-Y-Al-O-N液相,促进颗粒重排和致密化。制品综合性能优异,用于轴承球、涡轮转子和切削刀具。
气压烧结(GPS)是高端氮化硅的首选。粉体要求与无压烧结相同,但在1750–1900°C、1–10 MPa的高压氮气中进行,Y₂O₃+Al₂O₃复合助烧。高压环境有效抑制了Si₃N₄在1800°C以上的热分解,可获得更高的致密度和更优的高温性能,用于高端结构件和发动机热端部件。
热压烧结适用于形状简单的致密件。使用≥99%纯度、1–3 μm的粉体,在1700–1800°C的氮气或真空下单向加压,MgO或Y₂O₃助烧。制品高致密但存在明显的各向异性,主要用于切削刀具和装甲陶瓷。
热等静压面向极端可靠性需求。粉体纯度≥99.5%、粒度0.5–1 μm,在1750–1850°C的氮气或氩气(150 MPa)中处理,Y₂O₃+Al₂O₃助烧。该工艺实现完全致密化,可靠性最高,是航空发动机叶片等极端热端环境的候选材料。
SPS为氮化硅研究提供快速验证手段。采用≥99.9%纯度、<0.5 μm的纳米粉,在1500–1700°C的真空或氮气中分钟级快速烧结。可保留常规烧结难以获得的亚稳相,多用于研究前沿和功能陶瓷开发。
常压烧结是氮化铝散热基板的主流工业制法。采用≥99.5%纯度、氧含量<1 wt%、粒度1–3 μm的粉体,在1700–1900°C的氮气气氛中烧结,添加1–5 wt% Y₂O₃或CaO作为助烧剂。助烧剂与粉体表面天然存在的Al₂O₃反应形成液相,促进致密化并净化晶界。该路线广泛应用于大功率LED散热基板和功率模块。
气氛烧结进一步优化热导率。粉体要求与常压烧结相同,在1700–1850°C的氮气或CO/N₂还原气氛中进行,Y₂O₃助烧。还原气氛可防止AlN表面氧化,减少晶界氧杂质,从而获得更高的热导率,用于高导热散热基板。
热压烧结面向高端散热场景。使用≥99.9%纯度、氧含量<0.5 wt%、1–3 μm的粉体,在1600–1800°C的氮气或真空下单向加压,Y₂O₃助烧。制品高致密,热导率可达200–230 W/(m·K),用于高端散热基板和微波器件。
SPS提供低温快速制备路径。采用≥99.9%纯度、<1 μm的细粉,在1500–1700°C的真空中快速烧结,Y₂O₃助烧。低温快速的特点有效抑制晶粒长大,用于高导热纳米AlN和实验研究。
透明AlN烧结是氮化铝的高端形态。要求粉体纯度≥99.99%、氧含量<0.3 wt%、粒度<1 μm,在1900–2000°C的高纯氮气中烧结,Y₂O₃+CaO复合助烧。该工艺兼顾透光性和高导热性,用于深紫外LED封装和特种光学窗口。
⚠️ 生死线:AlN烧结中,原料氧含量必须控制在1 wt%以下(透明级需<0.3 wt%)。过量的氧会在晶界生成AlON或Al₂O₃第二相,导致热导率断崖式下跌。
热压烧结是目前碳化硼几乎唯一的工业化致密化方法。采用≥99%纯度、1–5 μm的粉体,在1900–2200°C的真空或惰性气氛下单向加压(20-100MPa),添加5–10 wt% TiB₂、SiC或CrB₂作为助烧剂。这些助烧剂通过形成液相或固溶机制促进扩散,制品密度可达98%以上,用于防弹装甲板、喷砂喷嘴和核工业控制部件。
无压烧结是材料界的公认难题。采用≥99.5%纯度、<1 μm的超细粉,在2100–2250°C的真空或惰性气氛中烧结,TiB₂、SiC或C助烧。由于B-C键的共价键比例高达93%,自扩散系数极低,该路线致密化率仍然不理想,目前主要处于研究阶段。
SPS为纳米碳化硼提供快速致密化路径。使用≥99.9%纯度、<1 μm的纳米粉,在1700–1900°C的真空中快速烧结,助烧剂用量极少。可保留细晶结构,用于纳米B₄C和防弹陶瓷的前沿研究。
反应烧结是一条低成本多孔路线。采用≥98%纯度、1–10 μm的B粉和C粉,在1400–1600°C的真空中通过反应合成。制品多孔、成本低,主要用于磨料和耐火材料。
热等静压作为后处理手段提升密度。使用≥99.5%纯度、1–3 μm的粉体,在1900–2100°C、150–200 MPa氩气中进行HIP处理,无需额外助烧剂。该工艺通常作为热压后的二次致密化步骤,用于高端装甲和核控制棒。
热压烧结是六方氮化硼(h-BN)的主要制备方法。采用≥99%纯度、5–20 μm的片状粉体,在1600–2000°C的氮气或真空下单向加压,添加1–3 wt% B₂O₃或CaO作为助烧剂。由于h-BN的层状结构类似石墨,层间结合力弱,制品存在显著的各向异性,主要用于高温脱模剂、绝缘件和坩埚。
无压烧结的致密化极为困难。使用≥99%纯度、1–5 μm的粉体,在1800–2100°C的氮气中烧结,B₂O₃或CaO助烧。受层状结构限制,制品通常呈多孔状态,用于多孔结构件和过滤材料。
SPS为纳米h-BN提供快速制备手段。采用≥99.9%纯度、<5 μm的细粉,在1500–1800°C的真空中快速烧结,无需助烧剂。主要用于实验研究和纳米材料开发。
化学气相沉积(CVD)制备的是薄膜而非块体。采用气相前驱体(如BCl₃+NH₃),在800–1200°C的气相反应中沉积成膜。该工艺不适用于块体烧结,主要用于表面涂层和半导体扩散源。
高温高压烧结(HPHT)是立方氮化硼(c-BN)的必备工艺。使用≥99.9%纯度、<1 μm的粉体,在1500–2000°C、5–8 GPa的极端高压条件下合成。c-BN的sp³杂化结构必须借助高压才能稳定存在,产物为超硬材料,用于超硬刀具、磨料和拉丝模。